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產品詳情
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SJ6000激光干涉儀
產品參數(shù):
產品型號:SJ6000
產品名稱:SJ6000激光干涉儀
測量方式:單頻
穩(wěn)頻精度:±0.05ppm
測量精度:±0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m
測量分辨率:1nm
動態(tài)采集頻率:50KHz
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的高精度、高靈敏度檢測設備,在高端制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術,結合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量;結合相應鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉軸等參數(shù)的測量,并進行動態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合,可以實現(xiàn)對線性、角度、平面度、直線度(平行度)、垂直度、回轉軸等參數(shù)的精密測量,并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態(tài)性能分析。
在相關軟件的配合下,可自動生成誤差補償方案,為設備誤差修正提供依據。
工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
功能特點
測量精度高:以激光干涉技術為核心,分辨力可達納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊,解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。
具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。
可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為機床誤差修正的提供依據。
具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能,可進行機床振動測量與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
內置國內外通用的標準,含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共10份 ??梢罁鞣N不同的機床標準分析處理數(shù)據,并可打印相應的曲線圖和數(shù)據報告。
可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)??蛇x擇手動或自動進行環(huán)境補償。
測量記錄采用集中式數(shù)據庫管理,可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數(shù)據輸出到Word、Excel文檔。
安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。
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訂購:SJ6000激光干涉儀